Eine Forschungseinrichtung sucht nach einem effizienten Weg Substrat im Vakuum zu beheizen

• Mergenthaler ist ein renommierter Anbieter von Komponenten und Systemen für die Lasersubstraterwärmung, die auf einzigartigen Diodenlasersystemen basieren. Die Laserbearbeitungsköpfe von Mergenthaler ermöglichen die Messung der Zieltemperatur durch berührungslose Hochgeschwindigkeits-Infrarotpyrometer, die koaxial zum Laserstrahl angeordnet sind. Die koaxiale Überwachung des Prozesses durch eine Videokamera ist ebenfalls enthalten

• Wir bieten Pyrometer-Temperaturbereiche von typischerweise 100°C bis zu 2500°C in verschiedenen Spannweiten mit 10.000 Temperaturmessungen pro Sekunde. Mit der leistungsstarken LASCON Process Manager Software kann der Anwender komplexe Temperaturkurven programmieren, die vom Closed-Loop-Controller ausgeführt werden. Es ist auch möglich, eine eigene Software-GUI mit Hilfe des Mergenthaler TCP/IP-Befehlshandbuchs zu erstellen. Ihre persönliche Kreativität wird voll unterstützt

Insbesondere für die Vakuumbeheizung ist der Laser eine ideale Komponente:

• Keine Kontamination des Vakuums durch berührungslose Erwärmung und berührungslose Temperaturregelung - ein Laserkopf außerhalb des Vakuums bearbeitet das Target durch ein Glasfenster

• Höhere Heizraten und Temperaturen als bei konduktiver Erwärmung mit nahezu beliebigen Temperaturprofilen

• Abstand Zielobjekt zu Laserkopf bis zu 500 mm

• Variable Spotgeometrien von typischerweise 3x3mm bis zu 15x15mm

• Spezielle Spot-Homogenisierung und -formung zur Umwandlung des gausschen Laserstrahls in flache, homogene Quadrate, Rechtecke, Sechsecke, Achtecke... für verbesserte Temperaturhomogenität auf dem Target