示例 - 在真空中加热基底

二极管激光器与 LASCON 控制器相结合,为非接触式加热工艺提供了强大的解决方案

用 LASCON 控制真空中的加热

   

客户的问题和要求

一家研究机构正在寻找一种在真空中加热基底的有效方法

   

Mergenthaler的解决方案

  • Mergenthaler 是以独特的二极管激光系统为基础的激光基片加热元件和系统的知名供应商。Mergenthaler 的激光加工头可通过与激光束同轴的非接触式高速红外测温仪测量目标温度。还包括通过摄像机对加工过程进行同轴监控。
  • 我们提供的测温仪测温范围通常从 100°C 到 2500°C,具有每秒 10,000 次温度测量的不同跨度。利用功能强大的 LASCON Process Manager 软件,用户可以对复杂的温度曲线进行编程,并由闭环控制器执行。用户还可以使用默根塔尔 TCP/IP 命令手册创建自己的软件图形用户界面。完全支持您的个人创造力

激光器是真空加热的理想组件:

  • 非接触式加热和非接触式温度控制不会污染真空 - 真空外的激光头通过玻璃窗对目标进行加工。
  • 与传导加热相比,加热速率和温度更高,几乎可以达到任何温度曲线
  • 目标与激光头之间的距离可达 500 毫米
  • 光斑几何形状可变,从通常的 3x3mm 到 15x15mm 不等
  • 特殊的光斑均匀化和整形技术,可将高斯激光束转化为扁平、均匀的正方形、长方形、六边形和八边形.... 提高目标上的温度均匀性

现状

  • 越来越多的系统被用于各种苛刻的加热任务
  • 请向我们的设计团队咨询基板加热解决方案,并从我们 30 年的激光技术经验中获益!